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西安飞秒真空技术有限公司
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产 品 中 心
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激光晶体电阻炉
发布时间: 2018-01-06 18:54
上提拉晶体生长炉,提供功能强大的提拉法晶体生长自动化单晶炉，适合用于生长高熔点温度氧化物晶体，如YAG、YAP、蓝宝石等。
设备组成结构：
上提拉传动机构：行程：550mm,提拉速度1~10mm/h，可手动快速升降，光栅尺显示。
籽晶杆旋转机构
坩埚升降机构：行程100mm，位移数字显示，焊接波纹管密封，水冷坩埚杆及陶瓷坩埚杆可选。
炉体及真空系统 炉膛：
——双层水冷耐高温不锈钢炉壁——炉膛尺寸
规格：BOET-CZ-600A型内径：600mm，高度：900mm BOET-CZ-800A型内径：800mm，高度1200mm
（或根据客户要求定制）
——真空度：极限真空度＜10Pa
（客户若需求高真空，可配制扩散泵，真空度可达：<6×10-3Pa）
——炉膛最高充气压力：0.08MPa
控制系统——采用标准的抽屉柜，所有的控制集中在一个控制柜中，各功能模块又相互独立。
——采用工控机进行过程控制。——全部仪表采用数字方式显示，一目了然。
——整个控制系统配有UPS电源，在外电停电的情况下给用户提供必要的时间采取措施保护设备，减少用户因停电带来的损失。
——自由进行手自动切换。
热场及加热电源
——输出功率：0-50KW或0-75KW（或根据用户要求定制）
——加热工作频率：2~8 KHz（根据客户负载情况而定）
——工作方式：连续
——输出功率因子：≥0.9
——功率分辨率：≥0.1%