上提拉晶体生长炉,提供功能强大的提拉法晶体生长自动化单晶炉,适合用于生长高熔点温度氧化物晶体,如YAG、YAP、蓝宝石等。
设备组成结构:
上提拉传动机构:行程:550mm,提拉速度1~10mm/h,可手动快速升降,光栅尺显示。
籽晶杆旋转机构
坩埚升降机构:行程100mm,位移数字显示,焊接波纹管密封,水冷坩埚杆及陶瓷坩埚杆可选。
炉体及真空系统 炉膛:
——双层水冷耐高温不锈钢炉壁
——炉膛尺寸
规格:BOET-CZ-600A型内径:600mm,高度:900mm BOET-CZ-800A型内径:800mm,高度1200mm
(或根据客户要求定制)
——真空度:极限真空度<10Pa
(客户若需求高真空,可配制扩散泵,真空度可达:<6×10-3Pa)
——炉膛最高充气压力:0.08MPa
控制系统——采用标准的抽屉柜,所有的控制集中在一个控制柜中,各功能模块又相互独立。
——采用工控机进行过程控制。
——全部仪表采用数字方式显示,一目了然。
——整个控制系统配有UPS电源,在外电停电的情况下给用户提供必要的时间采取措施保护设备,减少用户因停电带来的损失。
——自由进行手自动切换。
热场及加热电源
——输出功率:0-50KW或0-75KW(或根据用户要求定制)
——加热工作频率:2~8 KHz(根据客户负载情况而定)
——工作方式:连续
——输出功率因子:≥0.9
——功率分辨率:≥0.1%